本系統(tǒng)主要由以下部分組成:
1.四組分配氣混合裝置
2.計(jì)算機(jī)與操作軟件
3.便攜式濕度發(fā)生裝置(選配,配好的標(biāo)氣經(jīng)過該外設(shè)裝置)
該多組分動態(tài)配氣系統(tǒng)運(yùn)用目前國際上*先進(jìn)的測量和控制技術(shù),設(shè)備穩(wěn)定可靠,配制精度高。全自動化控制,操作簡單可靠。設(shè)備集成在一個機(jī)箱內(nèi)。外觀簡潔,美觀。主要設(shè)備包括:質(zhì)量流量控制器,單向閥,截止閥,氣體混合管路等。
該多組分動態(tài)配氣系統(tǒng)配置4路質(zhì)量流量控制器,可實(shí)現(xiàn)2—4個組份氣體混合配比。
系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫內(nèi)有多達(dá)四五十種氣體,使用時通過計(jì)算機(jī)直接調(diào)取選擇。
混合氣體*大流量:≈ 20 L/min。
配氣通道:4路
多組份動態(tài)配氣系統(tǒng)主要設(shè)備清單
1. 氣體質(zhì)量流量控制器(美國原裝進(jìn)口)
Model:F-201CV Fluid:Air Range:0.4…20Ln/min
Model:F-201CV Fluid:H2 Range:0.2…10 Ln/min
Model:F-201CV Fluid:N2 Range:0.1…5Ln/min
Model:F-201CV Fluid:N2 Range:0.1…5Ln/min
**度:±0.5%RD+0.1%FS
密封:Viton(耐高溫氟素橡膠)
響應(yīng)時間:1…2seconds
重復(fù)性:< ±0.2% Rd
量程比:1:50(數(shù)字模式為:1:187.5)
泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar l/s He
電源:+15…24VDC@320mA
使用溫度:-10…70 ℃
壓力靈敏度:0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2
溫度靈敏度:Zero:<0.05% Rd /℃; Span:<0.05%Rd/℃
輸出:4…20mA and RS-232
2. 氣路
整個多組分動態(tài)配氣系統(tǒng)氣路均采用防腐防吸附的316L不銹鋼管或者聚四氟乙烯管,內(nèi)表面光滑
3. 轉(zhuǎn)子流量計(jì)
方便使用,配制出來多余的氣體可以通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)子流量計(jì)直接排出.
4.計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)軟件
1)多組分動態(tài)配氣系統(tǒng)通過觸摸屏或者計(jì)算機(jī)操作,計(jì)算機(jī)需要另選配氣軟件。
2)四組分配氣軟件
多組分動態(tài)配氣系統(tǒng)根據(jù)要求,可以設(shè)置鋼瓶和對應(yīng)的端口。并可以通過流量模式和濃度模式配氣。通過軟件自動計(jì)算,氣體質(zhì)量流量控制器自動調(diào)節(jié)控制氣體流量,以實(shí)現(xiàn)氣體配比濃度要求。
5.便攜式濕度發(fā)生裝置(選配)
該裝置采用國際*新的加濕技術(shù),管殼式的水分交換器,可以使水氣在液態(tài)水和氣體中傳輸。水分被管壁吸收后以蒸汽的形式傳輸?shù)綒怏w中。傳輸過程是由管壁兩邊水氣分壓差驅(qū)動??梢哉{(diào)節(jié)不同的濕度輸出,同時實(shí)時顯示濕度值。耐腐蝕,僅加濕,不改變氣體成分,濕度范圍:0-98%RH,較大流量:10 L/min, 氣體壓力:<20 psig